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超声波喷头及超声波喷涂的原理及其应用
超声波喷涂或超声喷涂是一种利用超声波雾化技术进行的薄膜涂层沉积工艺。首先将要沉积的涂层材料配置成溶液、溶胶或悬浮液等液体，然后这些液体通过一个被称为超声波喷头的特殊超声波雾化装置雾化成微米级的微小液滴，这些微小液滴再通过一定量的载流气体均匀地沉积在基材表面，从而形成薄膜涂层。对于某些特定的薄膜材料，超声波喷涂可以用气相沉积或溅射等薄膜沉积设备成本的很小的一部分而获得品质相当的薄膜涂层，故此超声喷涂被视为是一种经济且的薄膜沉积工艺。与传统的单流体或二流体喷涂（空气喷涂）相比，超声喷涂具有非常柔和均匀的雾化、不堵塞的喷、高度可控的喷雾流量等显著优势，从而获得远高于二流体喷涂的原料利用率（可达4倍以上），更高的均匀度和控制精度、更低的维护成本。下面我们就详细介绍一下超声波喷涂中的部件——超声波喷头。
散射型超声波喷头介绍
散射型超声波喷头典型的应用是半导体晶圆的光刻胶喷涂，将光刻胶喷涂在半导体晶圆上。由于散射型超声波喷头喷出的雾是旋转散射的，故此不仅可以均匀的在晶圆的平面上形成光刻胶薄膜，而且还可以在晶圆微型结构的侧壁及夹角处形成均匀包裹的光刻胶薄膜。除此之外，散射型超声波喷头还可应用于如薄膜太阳能电池喷涂、钙钛矿太阳能电池喷涂、AR增透减反射膜喷涂、隔热薄膜喷涂、超疏水涂层喷涂、PCB助焊剂喷涂等等。 散射型超声波喷头的特点喷涂宽度：40-150mm涂层均匀：均匀度>95%节省原料：原料利用率高达85%以上，4倍于传统二流体喷涂
涂层厚度控制精度高：可制备20纳米到数十微米的涂层，控制涂层厚度
微细雾化颗粒雾化颗粒均匀可实现间断性或连续性的喷涂超低喷雾流量不易堵塞喷头防腐蚀型喷头可实现高精度、高可控性的喷涂。
喷雾干燥型超声波喷头
是一款用于超声波喷雾干燥超细粉体制备的超声波喷头。其采用超声波雾化喷头技术，可将前驱体溶液或悬浮液均匀雾化后喷入干燥塔中进行喷雾干燥制备超细粉体，是喷雾热分解（又名喷雾热裂解）系统中的关键雾化装置。超声喷雾干燥喷头带有特殊的接口设计，可与各种现有喷雾干燥机对接，除此之外，喷头还设有强制冷却设计可适应较高的温度环境，同时内嵌温度传感器可实时监测超声喷头工作温度。
喷头不堵塞、维护成本低由于超声喷头是通过超声振荡来实现的液体雾化，而雾化颗粒的由超声振荡频率来决定，故此其与二流体喷头不同，喷头的孔径无需很小来实现细小的雾化颗粒，所以减少了喷头堵塞的风险。
